サムスンがDRAM生産に初めてEUV技術を適用

ZDnetによれば、SamsungはEUV技術をDRAMの生産にうまく適用したと発表した。

Samsungは、EUVプロセスを使用して製造された100万個の10 nm DDR4 DRAMモジュールを出荷し、お客様から評価されています。サムソンは評価の完了が新しいDRAMの来年の大量生産への道を開くだろうと言った。

Samsungの平沢工場のEUV専用V2生産ラインは、年後半にDRAMモジュールの生産を開始します。生産ラインは、第4世代の10 nm DDR5およびLPDDR5を生産する予定です。

これは、EUVテクノロジーを使用した7nmロジックチップに加えて、平澤工場で製造された別のチップです。サムスンは、EUVテクノロジーが単一の12インチウェーハの生産効率を2倍にするだろうと主張しています。

Samsung、Intel、TSMCなどの世界的な半導体メーカーは、チップ製造におけるEUVテクノロジーの利用を拡大することが期待されています。サムスンは以前、3nmチップを製造するためにEUVテクノロジーを使用する計画があると述べました。